Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/15306
Title: Композиционный состав и повреждение кремния при нанесении металлических (Co,Zr, W) покрытий в условиях ионного ассистирования
Authors: Бобрович, Олег Георгиевич
Ташлыков, Игорь Серафимович
Keywords: ионное ассистирование
кремний
металлические покрытия
Co-покрытия
Zr-покрытия
W-покрытия
Issue Date: 2015
Publisher: БГТУ
Citation: Бобрович, О. Г. Композиционный состав и повреждение кремния при нанесении металлических (Co,Zr, W) покрытий в условиях ионного ассистирования / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2015. - № 6 (179). - С. 78-82.
Description: В представленной работе мы исследовали состав, распределение элементов в покрытии, нанесенном на пластины (100) Si при комнатной температуре, а также дефектообразование в кристаллах кремния при нанесении металлического (Со, Zr, W) покрытия в условиях ионного ассистирования. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния (РОР) ионов гелия, а повреждение структуры кремния ? методом просвечивающей электронной микроскопии и методом РОР в сочетании с каналированием (РОР/КИ) ионов гелия. Установлено, что покрытие однородно по составу по всей толщине. Структура кремния повреждается лишь в начальный момент времени модифицирования образца, когда толщина осаждаемого покрытия меньше пробега ассистирующих ионов в материале покрытия. Уменьшение ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Zr+ от 10 до 5 кВ приводит к увеличению толщины покрытия в ?1,5 раза при одинаковом времени модифицирования образцов кремния. Обнаружена зависимость повреждения структуры кремния от энергии облучающих ионов Со+, Zr+ и W+. Концентрация смещенных атомов растет с энергией ионов металла, однако уровень деканалирования за пиком повреждений на спектрах РОР/КИ уменьшается с увеличением энергии ионов Со+, Zr+ в системах Co ? Si, Zr ? Si и увеличивается с повышением энергии ионов W+ в системе W ? Si.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/15306
Appears in Collections:2015, № 6




PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.