Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/15306
Title: | Композиционный состав и повреждение кремния при нанесении металлических (Co,Zr, W) покрытий в условиях ионного ассистирования |
Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович |
Keywords: | ионное ассистирование кремний металлические покрытия Co-покрытия Zr-покрытия W-покрытия |
Issue Date: | 2015 |
Publisher: | БГТУ |
Citation: | Бобрович, О. Г. Композиционный состав и повреждение кремния при нанесении металлических (Co,Zr, W) покрытий в условиях ионного ассистирования / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2015. - С. 78-82. |
Abstract: | В представленной работе мы исследовали состав, распределение элементов в покрытии, нанесенном на пластины (100) Si при комнатной температуре, а также дефектообразование в кристаллах кремния при нанесении металлического (Со, Zr, W) покрытия в условиях ионного ассистирования. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния (РОР) ионов гелия, а повреждение структуры кремния ? методом просвечивающей электронной микроскопии и методом РОР в сочетании с каналированием (РОР/КИ) ионов гелия. Установлено, что покрытие однородно по составу по всей толщине. Структура кремния повреждается лишь в начальный момент времени модифицирования образца, когда толщина осаждаемого покрытия меньше пробега ассистирующих ионов в материале покрытия. Уменьшение ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Zr+ от 10 до 5 кВ приводит к увеличению толщины покрытия в ?1,5 раза при одинаковом времени модифицирования образцов кремния. Обнаружена зависимость повреждения структуры кремния от энергии облучающих ионов Со+, Zr+ и W+. Концентрация смещенных атомов растет с энергией ионов металла, однако уровень деканалирования за пиком повреждений на спектрах РОР/КИ уменьшается с увеличением энергии ионов Со+, Zr+ в системах Co ? Si, Zr ? Si и увеличивается с повышением энергии ионов W+ в системе W ? Si. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/15306 |
Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2015 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
kompozicionnyi-sostav-i-povrezhdenie-kremniya-pri-nanesenii-metallicheskix-so-zr-w-pokrytii-v-usloviyax-ionnogo-assistirovaniya-o.-g.-bobrovich-i.-s.-tashlykov.pdf | 636.43 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.