Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/20109| Title: | Формирование покрытия на кремнии нанесением Cr в условиях ионного ассистирования |
| Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Keywords: | Cr-покрытия кремний элементный состав ионное ассистирование металлические покрытия |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Бобрович, О. Г. Формирование покрытия на кремнии нанесением Cr в условиях ионного ассистирования / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2016. - С. 91-95 |
| Abstract: | В представленной работе мы исследовали состав и распределение элементов в покрытии, нанесенном на пластины (100) Si в условиях ионного ассистирования при комнатной температу-ре, а также химические связи элементов в поверхностном слое кристаллов кремния при нанесе-нии Cr-покрытия. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и вторичной ионной масс-спектрометрии. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/20109 |
| Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2016 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| formirovanie-pokrytiya-na-kremnii-naneseniem-cr-v-usloviyax-ionnogo-assistirovaniya-bobrovich-o.-g.-tashlykov-i.-s..pdf | 676.35 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.