Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/20862
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Хмыль, А. А. | ru |
dc.contributor.author | Кузьмар, И. И. | ru |
dc.contributor.author | Кушнер, Л. К. | ru |
dc.contributor.author | Степанова, Л. И. | ru |
dc.contributor.author | Лазарук, С. К. | ru |
dc.contributor.author | Долбик, А. В. | ru |
dc.date.accessioned | 2017-05-30T08:38:10Z | - |
dc.date.available | 2017-05-30T08:38:10Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.citation | Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений / А. А. Хмыль [и др.] // Современные электрохимические технологии и оборудование : материалы конференции, Минск, 24-25 ноября 2016 г. / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2016. - С. 10-13. | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/20862 | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | электрохимические технологии | ru |
dc.subject | интегральные схемы | ru |
dc.subject | трехмерные интегральные схемы | ru |
dc.subject | переходные отверстия | ru |
dc.subject | металлизация отверстий | ru |
dc.subject | кремний | ru |
dc.subject | токопроводящие межсоединения | ru |
dc.subject | медь | ru |
dc.subject | электролиты меднения | ru |
dc.subject | электроосаждение меди | ru |
dc.title | Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений | ru |
dc.type | Article | en |
Appears in Collections: | Материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Hmyl'_metallizacija perehodnyh.pdf | 317.77 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.