1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Международные конференции
  4. Современные электрохимические технологии и оборудование
  5. Современные электрохимические технологии и оборудование : материалы международной научно-технической конференции, Минск, 24-25 ноября 2016 г.
  6. Материалы конференции постатейно
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/20862
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorХмыль, А. А.ru
dc.contributor.authorКузьмар, И. И.ru
dc.contributor.authorКушнер, Л. К.ru
dc.contributor.authorСтепанова, Л. И.ru
dc.contributor.authorЛазарук, С. К.ru
dc.contributor.authorДолбик, А. В.ru
dc.date.accessioned2017-05-30T08:38:10Z-
dc.date.available2017-05-30T08:38:10Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationМеталлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений / А. А. Хмыль [и др.] // Современные электрохимические технологии и оборудование : материалы конференции, Минск, 24-25 ноября 2016 г. / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2016. - С. 10-13.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/20862-
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.publisherБГТУru
dc.subjectэлектрохимические технологииru
dc.subjectинтегральные схемыru
dc.subjectтрехмерные интегральные схемыru
dc.subjectпереходные отверстияru
dc.subjectметаллизация отверстийru
dc.subjectкремнийru
dc.subjectтокопроводящие межсоединенияru
dc.subjectмедьru
dc.subjectэлектролиты медненияru
dc.subjectэлектроосаждение медиru
dc.titleМеталлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединенийru
dc.typeArticleen
Appears in Collections:Материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Hmyl'_metallizacija perehodnyh.pdf317.77 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.