Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/20862| Title: | Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений |
| Authors: | Хмыль, А. А. Кузьмар, И. И. Кушнер, Л. К. Степанова, Л. И. Лазарук, С. К. Долбик, А. В. |
| Keywords: | электрохимические технологии интегральные схемы трехмерные интегральные схемы переходные отверстия металлизация отверстий кремний токопроводящие межсоединения медь электролиты меднения электроосаждение меди |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений / А. А. Хмыль [и др.] // Современные электрохимические технологии и оборудование : материалы конференции, Минск, 24-25 ноября 2016 г. / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2016. - С. 10-13. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/20862 |
| Appears in Collections: | Материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Hmyl'_metallizacija perehodnyh.pdf | 317.77 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.