Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/20862
Title: Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений
Authors: Хмыль, А. А.
Кузьмар, И. И.
Кушнер, Л. К.
Степанова, Л. И.
Лазарук, С. К.
Долбик, А. В.
Keywords: электрохимические технологии
интегральные схемы
трехмерные интегральные схемы
переходные отверстия
металлизация отверстий
кремний
токопроводящие межсоединения
медь
электролиты меднения
электроосаждение меди
Issue Date: 2016
Publisher: БГТУ
Citation: Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений / А. А. Хмыль [и др.] // Современные электрохимические технологии и оборудование : материалы конференции, Минск, 24-25 ноября 2016 г. / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2016. - С. 10-13.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/20862
Appears in Collections:Современные электротехнические технологии и оборудование : материалы международной научно-технической конференции, Минск, 24-25 ноября 2016 г.

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Hmyl'_metallizacija perehodnyh.pdf317.77 kBAdobe PDFView/Open



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.