Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/20862| Название: | Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений |
| Авторы: | Хмыль, А. А. Кузьмар, И. И. Кушнер, Л. К. Степанова, Л. И. Лазарук, С. К. Долбик, А. В. |
| Ключевые слова: | электрохимические технологии интегральные схемы трехмерные интегральные схемы переходные отверстия металлизация отверстий кремний токопроводящие межсоединения медь электролиты меднения электроосаждение меди |
| Дата публикации: | 2016 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений / А. А. Хмыль [и др.] // Современные электрохимические технологии и оборудование : материалы конференции, Минск, 24-25 ноября 2016 г. / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2016. - С. 10-13. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/20862 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Hmyl'_metallizacija perehodnyh.pdf | 317.77 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.