Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/23647
Title: Состав и распределение элементов по глубине в покрытиях, полученных ионно-ассистируемым осаждением титана и кремния на сталь марки 40Х
Authors: Тульев, Валентин Валентинович
Ташлыков, Игорь Серафимович
Keywords: ионно-ассистируемое осаждение
нанесение покрытий
стали
бериллий
кремний
титан
тонкие пленки
Issue Date: 2017
Publisher: БГТУ
Citation: Тульев, В. В. Состав и распределение элементов по глубине в покрытиях, полученных ионно-ассистируемым осаждением титана и кремния на сталь марки 40Х / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2017. - № 2 (200). - С. 66-70
Description: На подложки из стали марки 40Х наносились тонкие пленки на основе титана и титана с кремнием методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Элементный состав и распределение элементов по глубине в сформированных на стали и бериллии покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием, методом резонансных ядерных реакций и методом резонансного упругого рассеяния ионов гелия.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/23647
Appears in Collections:2017, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tul'ev_Sostav.pdf344.14 kBAdobe PDFView/Open



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.