Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/26644
Title: Композиционный состав циркониевого покрытия, осажденного на кремний в условиях ионного ассистирования
Authors: Бобрович, Олег Георгиевич
Keywords: циркониевые покрытия
Zr-покрытия
композиционный состав
кремний
элементный состав
химические связи элементов
ионное ассистирование
Issue Date: 2018
Publisher: БГТУ
Citation: Бобрович, О. Г. Композиционный состав циркониевого покрытия, осажденного на кремний в условиях ионного ассистирования / О. Г. Бобрович // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2018. - № 2 (212). - С. 57-61.
Abstract: В представленной работе исследовали состав и распределение элементов в покрытии, нанесенном на пластины (100) Si в условиях ионного ассистирования при комнатной температуре, а также химические связи элементов в поверхностном слое кристаллов кремния при нанесении Zr-покрытия. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и вторичной ионной масс-спектрометрии. Установлено, что покрытие однородно по составу по всей толщине. В состав покрытий на кремнии входят атомы осаждаемого металла Zr, технологических примесей С, О и Al, а также Si в результате встречной диффузии из подложки в покрытие. Рост ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Zr+ от 5 до 10 кВ приводит к уменьшению толщины покрытия при одинаковом времени модифицирования образцов кремния. Рассчитанная средняя скорость осаждения покрытия составляла 0,3–0,5 нм/мин. В поверхностном слое покрытия присутствуют оксиды ZrO и SiO, карбиды ZrC и SiC, углеводороды СН, молекулы С[2,] а также атомы Zr, Si, C, O, Al.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/26644
Appears in Collections:2018, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Bobrovich_Krmpozicionnyj.pdf286.81 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.