Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/26644
Название: | Композиционный состав циркониевого покрытия, осажденного на кремний в условиях ионного ассистирования |
Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич |
Ключевые слова: | циркониевые покрытия Zr-покрытия композиционный состав кремний элементный состав химические связи элементов ионное ассистирование |
Дата публикации: | 2018 |
Издательство: | БГТУ |
Библиографическое описание: | Бобрович, О. Г. Композиционный состав циркониевого покрытия, осажденного на кремний в условиях ионного ассистирования / О. Г. Бобрович // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2018. - № 2 (212). - С. 57-61. |
Краткий осмотр (реферат): | В представленной работе исследовали состав и распределение элементов в покрытии, нанесенном на пластины (100) Si в условиях ионного ассистирования при комнатной температуре, а также химические связи элементов в поверхностном слое кристаллов кремния при нанесении Zr-покрытия. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и вторичной ионной масс-спектрометрии. Установлено, что покрытие однородно по составу по всей толщине. В состав покрытий на кремнии входят атомы осаждаемого металла Zr, технологических примесей С, О и Al, а также Si в результате встречной диффузии из подложки в покрытие. Рост ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Zr+ от 5 до 10 кВ приводит к уменьшению толщины покрытия при одинаковом времени модифицирования образцов кремния. Рассчитанная средняя скорость осаждения покрытия составляла 0,3–0,5 нм/мин. В поверхностном слое покрытия присутствуют оксиды ZrO и SiO, карбиды ZrC и SiC, углеводороды СН, молекулы С[2,] а также атомы Zr, Si, C, O, Al. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/26644 |
Располагается в коллекциях: | выпуск журнала постатейно |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Bobrovich_Krmpozicionnyj.pdf | 286.81 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.