Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/27150| Title: | Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок |
| Authors: | Зарапин, Виталий Георгиевич Лугин, Валерий Геннадьевич Березняцкий, А. В. Жарский, Иван Михайлович |
| Keywords: | термическое окисление металлооксидные полупроводники тонкие оловянные пленки неизотермическое окисление оксидно-оловянные пленки пленки металлического олова тонкопленочные оксидно-оловянные покрытия |
| Issue Date: | 1999 |
| Citation: | Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок / В. Г. Зарапин [и др.] // Весці Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі. Сер. хімічных навук. - 1999. - № 3. - С. 15-20. |
| Abstract: | Работа посвящена исследованию изменений структурных и электрофизических параметров, происходящих при неизотермическом окислении тонких оловянных пленок, а также изучению структуры и химического состава оксидно-оловянных пленок, полученных термическим окислением. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/27150 |
| Appears in Collections: | Публикации в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Zarapin_Issledovanie processov.pdf | 1.09 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.