Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/27393| Title: | Методы вакуумных технологий в применении к созданию твердотельных химических сенсоров |
| Authors: | Почтенный, Артем Евгеньевич Шишкин, Николай Яковлевич Долгий, Валерий Казимирович Зарапин, Виталий Георгиевич Ильюшонок, Ирина Петровна Лугин, Валерий Геннадьевич Мисевич, Алексей Васильевич |
| Keywords: | вакуумных технологии химическая сенсорика тонкопленочные сенсоры металлокомплексы фталоцианина оксид олова твердотельные химические сенсоры ресурсосберегающие технологии |
| Issue Date: | 1996 |
| Citation: | Методы вакуумных технологий в применении к созданию твердотельных химических сенсоров / А. Е. Почтенный [и др.] // Ресурсосберегающие и экологически чистые технологии : тезисы докладов Второй научно-технической конференции, Гродно, 8-9 октября 1996 г. - Гродно : Гродн. гос. ун-т им. Я. Купалы, 1996. - С. 243. |
| Abstract: | Основной проблемой химической сенсорики является создание высокочувствительных, селективных, надежных и долговечных чувствительных элементов датчиков газового анализа. К наиболее перспективным путям решения этой проблемы относится использование ресурсосберегающих и экологически чистых вакуумных технологий микроэлектроники. В данной работе рассматриваются результаты использования таких методов для создания адсорбционно-резистивных тонкопленочных сенсоров на основе металлокомплексов фталоцианина и оксида олова. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/27393 |
| Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pochtennyj_Metody vakuumnyh.pdf | 43.96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.