Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28118| Title: | Элементный состав структуры Cu/Al, сформированной динамическим атомным перемешиванием |
| Authors: | Ташлыков, Игорь Серафимович Тульев, Валентин Валентинович |
| Keywords: | динамическое атомное перемешивание ионно-лучевое модифицирование модифицирование поверхности материалов осаждение покрытий наноструктуры резерфордовское обратное рассеяние |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Ташлыков, И. С. Элементный состав структуры Cu/Al, сформированной динамическим атомным перемешиванием / И. С. Ташлыков, В. В. Тульев // Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 9-й Международной конференции, 20-22 сентября 2011 г. - Минск : Издательский центр БГУ, 2011. - С. 327-329. |
| Abstract: | В данной работе с помощью резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием был проведен анализ элементного состава структур Cu/AI, полученных осаждение меди на алюминиевую подложку методом динамического атомного перемешивания. Проведенное исследование позволило установить, что создаваемые структуры содержат ~10 ат.% меди, ~1 ат.% кислорода и - 0,3 ат.% аргона. При этом наблюдается проникновение атомов алюминия в пленку меди вследствие атомного перемешивания, проникновение атомов меди и кислорода в алюминий вследствие радиационно-стимулированной диффузии, а также распыление пленки меди. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28118 |
| Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Tashlykov_EHlementarnyj.pdf | 2.84 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.