Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28598| Title: | Исследование свойств пленок диоксида титана на сапфировой подложке |
| Authors: | Клунникова, Ю. В. Саенко, А. В. Малюков, С. П. |
| Keywords: | диоксид титана пленки диоксида титана сапфировая подложка центрифугирование термоупругие напряжения свойства тонких пленок |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Клунникова, Ю. В. Исследование свойств пленок диоксида титана на сапфировой подложке / Ю. В. Клунникова, А. В. Саенко, С. П. Малюков // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 299-301. |
| Abstract: | Возможность формирования тонких пленок на диэлектрических и полупроводниковых подложках открывает широкие возможности для конструирования функциональных устройств (фотоэлектрических преобразователей и чувствительных элементов газовых датчиков). Одной из важных особенностей газовых датчиков на основе тонких пленок диоксида титана (TiO[2]) является возможность их работы при высоких температурах из-за химической стабильности пленки. Для получения пленки диоксида титана на сапфировой подложке использовался метод центрифугирования с последующим отжигом в муфельной печи. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28598 |
| Appears in Collections: | Материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Klunnikova_Issledovanie svojstv.pdf | 156.96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.