Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28605| Title: | Пленки ZnO полученные на мезо- и макропористых подложках Si методом магнетронного напыления |
| Authors: | Кидалов, В. В. Дяденчук, А. Ф. Бачериков, Ю. Ю. Жук, А. Г. Батурин, В. А. Рогозин, И. В. Филоненко, М. Н. Карпенко, О. Ю. |
| Keywords: | оксидные покрытия пленочные покрытия оксид цинка пленки оксида цинка метод магнетронного распыления полупроводниковые подложки подложки кремния мезопористые подложки Si макропористые подложки Si пленки ZnO |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Пленки ZnO полученные на мезо- и макропористых подложках Si методом магнетронного напыления / В. В. Кидалов [и др.] // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 273-277. |
| Abstract: | В настоящей работе методом реактивным магнетронным ВЧ распылением получены пленки ZnO на подложках кремния ориентации (100) и (111) с предварительно нанесенной системой мезо- и макропор. Рентгенографические исследования ZnO показали, что она имеет поликристаллическую природу с гексагональной решеткой типа вюрцита. Средние размеры кристаллитов составили порядка 50-200 нанометров. Микроэлементный анализ выявил практически идеальную стехиометричность ZnO выращенного на porous-Si/Si. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28605 |
| Appears in Collections: | Материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kidalov_Plenki ZnO.pdf | 944.98 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.