Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28605| Название: | Пленки ZnO полученные на мезо- и макропористых подложках Si методом магнетронного напыления |
| Авторы: | Кидалов, В. В. Дяденчук, А. Ф. Бачериков, Ю. Ю. Жук, А. Г. Батурин, В. А. Рогозин, И. В. Филоненко, М. Н. Карпенко, О. Ю. |
| Ключевые слова: | оксидные покрытия пленочные покрытия оксид цинка пленки оксида цинка метод магнетронного распыления полупроводниковые подложки подложки кремния мезопористые подложки Si макропористые подложки Si пленки ZnO |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Пленки ZnO полученные на мезо- и макропористых подложках Si методом магнетронного напыления / В. В. Кидалов [и др.] // Инновационные материалы и технологии : материалы докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-11 января 2019 г. – Минск : БГТУ, 2019. - С. 273-277. |
| Краткий осмотр (реферат): | В настоящей работе методом реактивным магнетронным ВЧ распылением получены пленки ZnO на подложках кремния ориентации (100) и (111) с предварительно нанесенной системой мезо- и макропор. Рентгенографические исследования ZnO показали, что она имеет поликристаллическую природу с гексагональной решеткой типа вюрцита. Средние размеры кристаллитов составили порядка 50-200 нанометров. Микроэлементный анализ выявил практически идеальную стехиометричность ZnO выращенного на porous-Si/Si. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28605 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Kidalov_Plenki ZnO.pdf | 944.98 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.