Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/31997
Title: Формирование хемочувствительных оксидных покрытий на сложнопрофилированных матрицах анодного оксида алюминия
Authors: Галковский, Тимур Вячеславович
Жилинский, Валерий Викторович
Жарский, Иван Михайлович
Захлебаева, А. И.
Горох, Г. Г.
Keywords: полупроводниковые пленки
оксидные покрытия
хемочувствительные оксидные покрытия
химическое осаджение
электрохимическое осаждение
анодный оксид алюминия
оксид алюминия
Issue Date: 2018
Citation: Формирование хемочувствительных оксидных покрытий на сложнопрофилированных матрицах анодного оксида алюминия / Т. В. Галковский [и др.] // Наноструктуры в конденсированных средах. - Минск : [Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова], 2018. - С. 171-175.
Abstract: Проведены исследования по формированию композиционных матрично-пленочных оксидных структур на примере хемочувствительных слоев Mo-ҒеО/Al[2]O[3]/Si и Ғe-SnO[2]/Al[2]O[3]/Si с использованием методов химического и электрохимического осаждения на поверхность пористого анодного оксида алюминия. Полученные структуры исследованы с помощью сканирующей электронной микроскопии и электроннозондового микроанализа, что позволило подтвердить предполагаемый состав оксидных структур.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/31997
Appears in Collections:Публикации в республиканских изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Galkovskij_Formirovanie.pdf344.69 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.