Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/33165| Title: | Использование метода SILD для получения материалов электронной техники |
| Authors: | Галковский, Тимур Вячеславович Богомазова, Наталья Валентиновна Жарский, Иван Михайлович Кукло, Л. И. Толстой, В. П. |
| Keywords: | наноэлектронные устройства метод SILD жидкофазные прекурсоры матрично-пленочные структуры планарные пленочные структуры химическая технология наслаивания |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Использование метода SILD для получения материалов электронной техники / Т. В. Галковский [и др.] // Интеграция и развитие научно-технического и образовательного сотрудничества - взгляд в будущее : сборник статей II Междунар. научно-техн. конф. "Минские научные чтения - 2019", Минск, 11-12 декабря 2019 г. : в 3 т. Т. 2. - Минск : БГТУ, 2020. - С. 33-35. |
| Abstract: | Проведены исследования процессов формирования планарных пленок и гетероструктур, а также матрично-пленочных структур на основе функциональных полупроводниковых материалов. Планарные структуры формировались на стеклопластинах, покрытых слоем ITO (оксид индия-олова). Матрично-пленочные структуры формировались на кремниевых подложках, включающих поверхностный матричный слой пористого анодного оксида алюминия высотой 0,5–1 мкм. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/33165 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Galkovskij_Ispol'zovanie.pdf | 653.87 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.