Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/33165| Название: | Использование метода SILD для получения материалов электронной техники |
| Авторы: | Галковский, Тимур Вячеславович Богомазова, Наталья Валентиновна Жарский, Иван Михайлович Кукло, Л. И. Толстой, В. П. |
| Ключевые слова: | наноэлектронные устройства метод SILD жидкофазные прекурсоры матрично-пленочные структуры планарные пленочные структуры химическая технология наслаивания |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Использование метода SILD для получения материалов электронной техники / Т. В. Галковский [и др.] // Интеграция и развитие научно-технического и образовательного сотрудничества - взгляд в будущее : сборник статей II Междунар. научно-техн. конф. "Минские научные чтения - 2019", Минск, 11-12 декабря 2019 г. : в 3 т. Т. 2. - Минск : БГТУ, 2020. - С. 33-35. |
| Краткий осмотр (реферат): | Проведены исследования процессов формирования планарных пленок и гетероструктур, а также матрично-пленочных структур на основе функциональных полупроводниковых материалов. Планарные структуры формировались на стеклопластинах, покрытых слоем ITO (оксид индия-олова). Матрично-пленочные структуры формировались на кремниевых подложках, включающих поверхностный матричный слой пористого анодного оксида алюминия высотой 0,5–1 мкм. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/33165 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Galkovskij_Ispol'zovanie.pdf | 653.87 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.