Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/33289| Название: | Влияние ионно-ассистируемого осаждения на содержание водорода в структурах Me/Si |
| Авторы: | Тульев, Валентин Валентинович |
| Ключевые слова: | приповерхностные слои ионно-ассистируемое осаждение водород метод резерфордовского обратного рассеяния метод РОР концентрации водорода структуры Ме/Si |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Тульев, В. В. Влияние ионно-ассистируемого осаждения на содержание водорода в структурах Me/Si / В. В. Тульев // Информационные технологии : материалы докладов 84-й научно-технической конференции, посвященной 90-летнему юбилею БГТУ и Дню белорусской науки (с международным участием), Минск, 03-14 февраля 2020 г. - Минск : БГТУ, 2020. – С. 238-240. |
| Краткий осмотр (реферат): | В работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению приповерхностных слоев структур Ме/Si, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. В качестве подложки использовался образцы из кремния, на которые наносились металлсодержащие покрытие на основе Cr, Ti, Zr. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/33289 |
| Располагается в коллекциях: | Информационные технологии |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Tul'ev_Vliyanie_ionno.pdf | 185.21 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.