Влияние ионно-ассистируемого осаждения на содержание водорода в структурах Me/Si

Тульев, Валентин Валентинович

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.belstu.by/handle/123456789/33289

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Тульев, Валентин Валентинович	-
dc.date.accessioned	2020-04-08T06:44:01Z	-
dc.date.available	2020-04-08T06:44:01Z	-
dc.date.issued	2020	-
dc.identifier.citation	Тульев, В. В. Влияние ионно-ассистируемого осаждения на содержание водорода в структурах Me/Si / В. В. Тульев // Информационные технологии : материалы докладов 84-й научно-технической конференции, посвященной 90-летнему юбилею БГТУ и Дню белорусской науки (с международным участием), Минск, 03-14 февраля 2020 г. - Минск : БГТУ, 2020. – С. 238-240.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/33289	-
dc.description.abstract	В работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению приповерхностных слоев структур Ме/Si, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. В качестве подложки использовался образцы из кремния, на которые наносились металлсодержащие покрытие на основе Cr, Ti, Zr.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	приповерхностные слои	ru
dc.subject	ионно-ассистируемое осаждение	ru
dc.subject	водород	ru
dc.subject	метод резерфордовского обратного рассеяния	ru
dc.subject	метод РОР	ru
dc.subject	концентрации водорода	ru
dc.subject	структуры Ме/Si	ru
dc.title	Влияние ионно-ассистируемого осаждения на содержание водорода в структурах Me/Si	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	539.1.06:539.23.234	-
Располагается в коллекциях:	Информационные технологии

Файлы этого ресурса:

Файл	Описание	Размер	Формат
Tul'ev_Vliyanie_ionno.pdf		185.21 kB	Adobe PDF	Просмотреть/Открыть

Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.