Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/33289Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
| dc.date.accessioned | 2020-04-08T06:44:01Z | - |
| dc.date.available | 2020-04-08T06:44:01Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Тульев, В. В. Влияние ионно-ассистируемого осаждения на содержание водорода в структурах Me/Si / В. В. Тульев // Информационные технологии : материалы докладов 84-й научно-технической конференции, посвященной 90-летнему юбилею БГТУ и Дню белорусской науки (с международным участием), Минск, 03-14 февраля 2020 г. - Минск : БГТУ, 2020. – С. 238-240. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/33289 | - |
| dc.description.abstract | В работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению приповерхностных слоев структур Ме/Si, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. В качестве подложки использовался образцы из кремния, на которые наносились металлсодержащие покрытие на основе Cr, Ti, Zr. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | БГТУ | ru |
| dc.subject | приповерхностные слои | ru |
| dc.subject | ионно-ассистируемое осаждение | ru |
| dc.subject | водород | ru |
| dc.subject | метод резерфордовского обратного рассеяния | ru |
| dc.subject | метод РОР | ru |
| dc.subject | концентрации водорода | ru |
| dc.subject | структуры Ме/Si | ru |
| dc.title | Влияние ионно-ассистируемого осаждения на содержание водорода в структурах Me/Si | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 539.1.06:539.23.234 | - |
| Appears in Collections: | Информационные технологии | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Tul'ev_Vliyanie_ionno.pdf | 185.21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.