Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/36289| Title: | Влияние ионно-ассистируемого осаждения металлсодержащих покрытий на содержание водорода в Cr/Si, Ti/Si и Zr/Si-структурах |
| Authors: | Тульев, Валентин Валентинович |
| Keywords: | ионно-ассистируемые осаждения кремний хром титан цирконий водород метод резонансных ядерных реакций металлсодержащие покрытия поверхностные структуры |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Тульев, В. В. Влияние ионно-ассистируемого осаждения металлсодержащих покрытий на содержание водорода в Cr/Si, Ti/Si и Zr/Si-структурах / В. В. Тульев // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2020. - № 2 (236). - С. 85-88. - Библиогр.: 7 назв. - ил., табл. |
| Abstract: | В данной работе обсуждаются экспериментальные результаты по изучению распределения водорода в приповерхностных слоях Cr/Si-, Ti/Si- и Zr/Si-структур, сформированных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. Этот метод заключается в осаждении покрытия на подложку при одновременном облучении формируемой структуры ускоренными ионами материала покрытия. Установлено, что при ионно-ассистируемом нанесении металлсодержащих (Cr, Ti и Zr) покрытий на кремний формируются поверхностные структуры толщиной ∼100−400 нм в зависимости от времени осаждения. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/36289 |
| Appears in Collections: | выпуск журнала постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 14. Тульев.pdf | 631.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.