Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий

Сотников, Д. А.; Галаганова, Е. Н.; Мезенцев, Д. О.; Якупов, Э. С.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Сотников, Д. А.	ru
dc.contributor.author	Галаганова, Е. Н.	ru
dc.contributor.author	Мезенцев, Д. О.	ru
dc.contributor.author	Якупов, Э. С.	ru
dc.date.accessioned	2020-11-23T09:23:19Z	-
dc.date.available	2020-11-23T09:23:19Z	-
dc.date.issued	2020	-
dc.identifier.citation	Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий / Д. А. Сотников [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2020 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-10 января 2020 г. - Минск : БГТУ, 2020. – С. 517-518.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605	-
dc.description.abstract	Разработаны модели фланцев и заслонок для модернизации магнетронных распылительных систем. Сформированы проблемы использования магнетронной распылительной системы. Установка напыления тонких пленок «Лунтик» предназначена для проведения исследовательских работ в области осаждения тонких пленок методом магнетронного и термического распыления.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	en
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	магнетронные распылительные системы	ru
dc.subject	напыление тонких пленок	ru
dc.subject	наноразмерные покрытия	ru
dc.subject	нанесение тонкопленочных покрытий	ru
dc.subject	инновационные технологии	ru
dc.title	Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий	ru
dc.type	Article	en
dc.identifier.udc	621	-
Appears in Collections:	Материалы конференции постатейно

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Sotnikov_Modernizaciya_magnetronnoj.pdf		167.58 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record