Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Сотников, Д. А. | ru |
| dc.contributor.author | Галаганова, Е. Н. | ru |
| dc.contributor.author | Мезенцев, Д. О. | ru |
| dc.contributor.author | Якупов, Э. С. | ru |
| dc.date.accessioned | 2020-11-23T09:23:19Z | - |
| dc.date.available | 2020-11-23T09:23:19Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий / Д. А. Сотников [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2020 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-10 января 2020 г. - Минск : БГТУ, 2020. – С. 517-518. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605 | - |
| dc.description.abstract | Разработаны модели фланцев и заслонок для модернизации магнетронных распылительных систем. Сформированы проблемы использования магнетронной распылительной системы. Установка напыления тонких пленок «Лунтик» предназначена для проведения исследовательских работ в области осаждения тонких пленок методом магнетронного и термического распыления. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | БГТУ | ru |
| dc.subject | магнетронные распылительные системы | ru |
| dc.subject | напыление тонких пленок | ru |
| dc.subject | наноразмерные покрытия | ru |
| dc.subject | нанесение тонкопленочных покрытий | ru |
| dc.subject | инновационные технологии | ru |
| dc.title | Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий | ru |
| dc.type | Article | en |
| dc.identifier.udc | 621 | - |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференции постатейно | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Sotnikov_Modernizaciya_magnetronnoj.pdf | 167.58 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.