Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605| Title: | Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий |
| Authors: | Сотников, Д. А. Галаганова, Е. Н. Мезенцев, Д. О. Якупов, Э. С. |
| Keywords: | магнетронные распылительные системы напыление тонких пленок наноразмерные покрытия нанесение тонкопленочных покрытий инновационные технологии |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий / Д. А. Сотников [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2020 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-10 января 2020 г. - Минск : БГТУ, 2020. – С. 517-518. |
| Abstract: | Разработаны модели фланцев и заслонок для модернизации магнетронных распылительных систем. Сформированы проблемы использования магнетронной распылительной системы. Установка напыления тонких пленок «Лунтик» предназначена для проведения исследовательских работ в области осаждения тонких пленок методом магнетронного и термического распыления. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605 |
| Appears in Collections: | Материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Sotnikov_Modernizaciya_magnetronnoj.pdf | 167.58 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.