Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605| Название: | Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий |
| Авторы: | Сотников, Д. А. Галаганова, Е. Н. Мезенцев, Д. О. Якупов, Э. С. |
| Ключевые слова: | магнетронные распылительные системы напыление тонких пленок наноразмерные покрытия нанесение тонкопленочных покрытий инновационные технологии |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Модернизация магнетронной распылительной системы для увеличения чистоты наноразмерных покрытий / Д. А. Сотников [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2020 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 9-10 января 2020 г. - Минск : БГТУ, 2020. – С. 517-518. |
| Краткий осмотр (реферат): | Разработаны модели фланцев и заслонок для модернизации магнетронных распылительных систем. Сформированы проблемы использования магнетронной распылительной системы. Установка напыления тонких пленок «Лунтик» предназначена для проведения исследовательских работ в области осаждения тонких пленок методом магнетронного и термического распыления. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/36605 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Sotnikov_Modernizaciya_magnetronnoj.pdf | 167.58 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.