Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/37542| Title: | Исследование тонкопленочных структур Sn[x]W[y]O[z]/Al[2]O[3]/Si |
| Authors: | Боброва, В. А. Галковский, Тимур Вячеславович |
| Keywords: | тонкопленочные структуры тонкие пленки оксиды олова олово вольфрам газочувствительные пленки ионное наслаивание тонкие газочувствительные пленки электрофизические свойства |
| Issue Date: | 2016 |
| Citation: | Боброва, В. А. Исследование тонкопленочных структур Sn[x]W[y]O[z]/Al[2]O[3]/Si / В. А. Боброва, Т. В. Галковский // Научные стремления : молодежный сборник научных статей. - Минск : Лаборатория интеллекта, 2016. - Вып. 19. - С. 96-100. |
| Abstract: | В работе представлены результаты экспериментального исследования процесса формирования тонких газочувствительных пленок состава Sn[x]W[y]O[z]/Al[2]O[3]/Si методом ионного наслаивания, изучения электрофизических свойств пленок, влияния состава окружающей газовой среды на проводимость слоев и выяснение особенностей их применения в качестве датчиков газов. Исследованы зависимости электрофизических характеристик тонких газочувствительных пленок от температуры и состава окружающей среды. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/37542 |
| Appears in Collections: | Публикации в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bobrova_Issledovanie.pdf | 957.69 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.