Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/38959
Title: | Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования |
Authors: | Барайшук, С. М. Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, И. С. |
Keywords: | ионное ассистирование топография поверхности нанотвердость поверхности кремний металлические покрытия шероховатость поверхности |
Issue Date: | 2009 |
Citation: | Барайшук, С. М. Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования / С. М. Барайшук, В.В. Тульев, И.С. Ташлыков // Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 8-й Международной конференции, 23-25 сентября 2009 г. - Минск : Издательский центр БГУ, 2009. - С. 246-248 |
Description: | В статье обсуждаются результаты экспериментального исследования механических свойств поверхности кремния, модифицированного ионно - ассистированным осаждением Ti, Со, Zr, Мо покрытий. Методом наноиндентирования покрытий получены кривые нагрузка - разгрузка и на их основании вычислены твердость поверхности и эффективный модуль Юнга. Методом атомно - силовой микроскопии исследованы топография и шероховатость модифицированных поверхностей. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/38959 |
Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Barajshuk. Nanotverdost'.pdf | 290.95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.