Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/38959
Title: Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования
Authors: Барайшук, С. М.
Тульев, Валентин Валентинович
Ташлыков, И. С.
Keywords: ионное ассистирование
топография поверхности
нанотвердость поверхности
кремний
металлические покрытия
шероховатость поверхности
Issue Date: 2009
Citation: Барайшук, С. М. Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования / С. М. Барайшук, В.В. Тульев, И.С. Ташлыков // Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 8-й Международной конференции, 23-25 сентября 2009 г. - Минск : Издательский центр БГУ, 2009. - С. 246-248
Description: В статье обсуждаются результаты экспериментального исследования механических свойств поверхности кремния, модифицированного ионно - ассистированным осаждением Ti, Со, Zr, Мо покрытий. Методом наноиндентирования покрытий получены кривые нагрузка - разгрузка и на их основании вычислены твердость поверхности и эффективный модуль Юнга. Методом атомно - силовой микроскопии исследованы топография и шероховатость модифицированных поверхностей.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/38959
Appears in Collections:Публикации в республиканских изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Barajshuk. Nanotverdost'.pdf290.95 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.