Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/40169
Title: | Распределение элементов по глубине в структурах Me/Ti, полученных ионно-ассистируемым осаждением |
Authors: | Тульев, Валентин Валентинович |
Keywords: | ионно-ассистируемое осаждение нанесение покрытий титан осаждение покрытий резерфордовское обратное рассеяние ионы гелия компьютерное моделирование тонкопленочные структуры |
Issue Date: | 2019 |
Publisher: | БГАТУ |
Citation: | Тульев, В. В. Распределение элементов по глубине в структурах Me/Ti, полученных ионно-ассистируемым осаждением / В. В. Тульев // Энергосбережение - важнейшее условие инновационного развития АПК : материалы Международной научно-технической конференции, Минск, 19-20 декабря 2019 г. - Минск : БГАТУ, 2019. - С. 302-305. - Библиогр.: 4 назв. |
Abstract: | Метод ионно-ассистируемого осаждения покрытий в вакууме являются перспективным методом модифицирования состава и свойств поверхности материалов и изделий. Он позволяет при осаждении пленки облучать поверхность формируемой структуры ускоренными ионами. При таком нанесении покрытий происходит перемешивание атомов поверхностного слоя мишени с атомами осаждаемого покрытия, в результате чего формируется покрытие с высокой степенью адгезии к подложке. В процессе осаждения покрытия в поверхностных слоях подложки происходит изменение композиционного состава и структурно-фазового состояния, что приводит к изменению свойств поверхности. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/40169 |
Appears in Collections: | Публикации в республиканских изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Тульев В.В.pdf | 1.95 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.