Анодное окисление кремния и нитрида кремния для целей нанотехнологии

Милешко, Л. П.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/41907

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Милешко, Л. П.	-
dc.date.accessioned	2021-06-25T12:31:03Z	-
dc.date.available	2021-06-25T12:31:03Z	-
dc.date.issued	2021	-
dc.identifier.citation	Милешко, Л. П. Анодное окисление кремния и нитрида кремния для целей нанотехнологии / Л. П. Милешко // Современные электрохимические материалы и оборудование : материалы Междунар. науч.-техн. конф., г. Минск, 18–20 мая 2021 г. – Минск : БГТУ, 2021. – С. 293-295.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/41907	-
dc.description.abstract	Электроника анодных оксидных пленок нанометровой толщины является перспективным научным направлением. Анодные оксидные пленки этих материалов являются перспективными наноматериалами и могут применяться в технологии создания элементов кремниевых интегральных микросхем в качестве диффузанта и диэлектрика.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	анодное окисление кремния	ru
dc.subject	окисление кремния	ru
dc.subject	нанотехнологии	ru
dc.subject	анодные оксидные пленки	ru
dc.subject	термические оксидные пленки	ru
dc.subject	анодное окисление нитрида кремния	ru
dc.subject	окисление нитрида кремния	ru
dc.subject	нитрид кремния	ru
dc.title	Анодное окисление кремния и нитрида кремния для целей нанотехнологии	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	541.13:621.315.592.3	-
Appears in Collections:	материалы конференции постатейно

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Милешко_Анодное.pdf		123.58 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record