Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/41907| Title: | Анодное окисление кремния и нитрида кремния для целей нанотехнологии |
| Authors: | Милешко, Л. П. |
| Keywords: | анодное окисление кремния окисление кремния нанотехнологии анодные оксидные пленки термические оксидные пленки анодное окисление нитрида кремния окисление нитрида кремния нитрид кремния |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Милешко, Л. П. Анодное окисление кремния и нитрида кремния для целей нанотехнологии / Л. П. Милешко // Современные электрохимические материалы и оборудование : материалы Междунар. науч.-техн. конф., г. Минск, 18–20 мая 2021 г. – Минск : БГТУ, 2021. – С. 293-295. |
| Abstract: | Электроника анодных оксидных пленок нанометровой толщины является перспективным научным направлением. Анодные оксидные пленки этих материалов являются перспективными наноматериалами и могут применяться в технологии создания элементов кремниевых интегральных микросхем в качестве диффузанта и диэлектрика. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/41907 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Милешко_Анодное.pdf | 123.58 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.