Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/41907| Название: | Анодное окисление кремния и нитрида кремния для целей нанотехнологии |
| Авторы: | Милешко, Л. П. |
| Ключевые слова: | анодное окисление кремния окисление кремния нанотехнологии анодные оксидные пленки термические оксидные пленки анодное окисление нитрида кремния окисление нитрида кремния нитрид кремния |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Милешко, Л. П. Анодное окисление кремния и нитрида кремния для целей нанотехнологии / Л. П. Милешко // Современные электрохимические материалы и оборудование : материалы Междунар. науч.-техн. конф., г. Минск, 18–20 мая 2021 г. – Минск : БГТУ, 2021. – С. 293-295. |
| Краткий осмотр (реферат): | Электроника анодных оксидных пленок нанометровой толщины является перспективным научным направлением. Анодные оксидные пленки этих материалов являются перспективными наноматериалами и могут применяться в технологии создания элементов кремниевых интегральных микросхем в качестве диффузанта и диэлектрика. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/41907 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Милешко_Анодное.pdf | 123.58 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.