Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602| Название: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr |
| Авторы: | Барайшук, С. М. Вертель, М. Будзинский, М. Бобрович, Олег Георгиевич Михалкович, О. М. |
| Ключевые слова: | металлические покрытия пластины монокристаллического кремния условия ионного ассистирования ионно-ассистированное осаждение резерфордовское обратное рассеяние кремниевые пластины |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr / С. М. Барайшук [и др.] // Передовые технологии и материалы будущего : сборник статей IV Международной научно-технической конференции «Минские научные чтения-2021», Минск, 9 декабря 2021 г. : в 3 т. – Минск : БГТУ, 2021. – Т. 2. – С. 25-30. |
| Краткий осмотр (реферат): | В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Барайшук_Особенности.pdf | 664.44 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.