1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Международные конференции
  4. Минские научные чтения
  5. Передовые технологии и материалы будущего : сборник статей IV Международной научно-технической конференции "Минские научные чтения-2021", Минск, 9 декабря 2021 г. - Минск : БГТУ, 2021. - Т. 2. - 200 с.
  6. материалы конференции постатейно
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБарайшук, С. М.-
dc.contributor.authorВертель, М.-
dc.contributor.authorБудзинский, М.-
dc.contributor.authorБобрович, Олег Георгиевич-
dc.contributor.authorМихалкович, О. М.-
dc.date.accessioned2021-12-27T12:53:19Z-
dc.date.available2021-12-27T12:53:19Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationОсобенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr / С. М. Барайшук [и др.] // Передовые технологии и материалы будущего : сборник статей IV Международной научно-технической конференции «Минские научные чтения-2021», Минск, 9 декабря 2021 г. : в 3 т. – Минск : БГТУ, 2021. – Т. 2. – С. 25-30.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/44602-
dc.description.abstractВ данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.publisherБГТУru
dc.subjectметаллические покрытияru
dc.subjectпластины монокристаллического кремнияru
dc.subjectусловия ионного ассистированияru
dc.subjectионно-ассистированное осаждениеru
dc.subjectрезерфордовское обратное рассеяниеru
dc.subjectкремниевые пластиныru
dc.titleОсобенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Crru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc538.97; 539.23; 539.25-
Appears in Collections:материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Барайшук_Особенности.pdf664.44 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.