Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602| Title: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr |
| Authors: | Барайшук, С. М. Вертель, М. Будзинский, М. Бобрович, Олег Георгиевич Михалкович, О. М. |
| Keywords: | металлические покрытия пластины монокристаллического кремния условия ионного ассистирования ионно-ассистированное осаждение резерфордовское обратное рассеяние кремниевые пластины |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr / С. М. Барайшук [и др.] // Передовые технологии и материалы будущего : сборник статей IV Международной научно-технической конференции «Минские научные чтения-2021», Минск, 9 декабря 2021 г. : в 3 т. – Минск : БГТУ, 2021. – Т. 2. – С. 25-30. |
| Abstract: | В данной работе с использованием методов РОР, растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии установлены состав и структура металлических (Mo, Cr) покрытий, осажденных на (111) Si в условиях ассистирования собственными ионами. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Барайшук_Особенности.pdf | 664.44 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.