Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44908
Title: | Получение тонких пленок на основе оксида вольфрама и ислледование возможности их использования в качестве чувствительных слоев в газовых сенсорах |
Authors: | Шишкин, Николай Яковлевич Косов, Д. В. Черкасов, Вадим Анатольевич Шафранский, С. Н. Жарский, Иван Михайлович |
Keywords: | тонкие пленки оксид вольфрама газовые сенсоры оксид ванадия кислород магнетронное распыление газочувствительность пленок |
Issue Date: | 2001 |
Publisher: | БГТУ |
Citation: | Получение тонких пленок на основе оксида вольфрама и ислледование возможности их использования в качестве чувствительных слоев в газовых сенсорах / Н. Я. Шишкин [и др.] // Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001. - С. 99-102 |
Abstract: | Тонкие пленки на основе оксида вольфрама с добавками ванадия были получены путем магнетронного распыления мишени W-V мозаичного типа на подложку из окисленного кремния с последующим окислением в воздушной атмосфере при температуре 400 °С. Полученные пленки были исследованы на газочувствительность при повышенной температуре в атмосфере с контролируемой концентрацией водорода и различной влажностью путем измерения проводимости пленок. Пленки показали хорощую чувствительность к водороду. При анализе экспериментальных данных было выяснено, что наиболее благоприятными условиями является темпрература 370-470 °С, так как в этом интервале пленки демонстрируют высокую чувствительность к водороду и малое время отклика. Полученные пленки могут быть использованы в качестве сенсорных слоев в датчиках на водород и другие газы. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44908 |
Appears in Collections: | Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Шишкин_Получение тонких пленок.pdf | 364.88 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.