Получение тонких пленок на основе оксида вольфрама и ислледование возможности их использования в качестве чувствительных слоев в газовых сенсорах

Abstract

Тонкие пленки на основе оксида вольфрама с добавками ванадия были получены путем магнетронного распыления мишени W-V мозаичного типа на подложку из окисленного кремния с последующим окислением в воздушной атмосфере при температуре 400 °С. Полученные пленки были исследованы на газочувствительность при повышенной температуре в атмосфере с контролируемой концентрацией водорода и различной влажностью путем измерения проводимости пленок. Пленки показали хорощую чувствительность к водороду. При анализе экспериментальных данных было выяснено, что наиболее благоприятными условиями является темпрература 370-470 °С, так как в этом интервале пленки демонстрируют высокую чувствительность к водороду и малое время отклика. Полученные пленки могут быть использованы в качестве сенсорных слоев в датчиках на водород и другие газы.