Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/45149| Title: | Электрические свойства наноразмерных слоёв золота, полученных методом ионно-лучевого распыления–осаждения |
| Authors: | Галенко, Е. Н. Шарко, С. А. |
| Keywords: | наноразмерные слои металлов наноразмерные слои золота электрические свойства слоёв золота подложки кремния метод ионно-лучевого распыления–осаждения линейный четырёхзондовый метод |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Галенко, Е. Н. Электрические свойства наноразмерных слоёв золота, полученных методом ионно-лучевого распыления–осаждения / Е. Н. Галенко, С. А. Шарко // Инновационные материалы и технологии - 2021 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 19-21 января 2021 г. - Минск : БГТУ, 2021. – С. 402-405. |
| Abstract: | В данной работе исследовались электрические свойства слоёв золота толщиной 2–13 нм, полученных на подложках кремния методом ионно-лучевого распыления – осаждения с применением дополнительной операции напыления и последующего распыления слоя золота толщиной несколько нанометров. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/45149 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Галенко_Электрические.pdf | 211.6 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.