Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/48179
Title: Чувствительные элементы газоанализаторов, на основе покрытий, получаемых методом магнетронного распыления
Authors: Олиферович, Надежда Михайловна
Анкуда, Максим Анатольевич
Карпович, Дмитрий Семенович
Keywords: газоанализаторы
магнетронное распыление
оксидные пленки
пленочные газовые сенсоры
полупроводниковые сенсоры
полупроводниковые материалы
чувствительность датчиков
чувствительные элементы газоанализаторов
Issue Date: 2021
Citation: Олиферович, Н. М. Чувствительные элементы газоанализаторов, на основе покрытий, получаемых методом магнетронного распыления / Н. М. Олиферович, М. А. Анкуда, Д. С. Карпович // Новые технологии и материалы, автоматизация производства : сборник статей международной научно-технической конференции, посвященной 55-летию Брестского государственного технического университета, Брест, 29–30 сентября 2021 г. - Брест : БрГТУ, 2021. – С. 13-16
Description: Измерители концентрации, принцип действия которых основан па взаимодействии оксидов металлов с анализируемыми газами, весьма перспективны для анализа количественного и качественного состава газов в различных отраслях промышленности.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/48179
Appears in Collections:Публикации в республиканских изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Олиферович. Чувствительные.pdf232.02 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.