Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/51185
Title: | Элементный анализ поверхностных структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением на сталь 40Х покрытий на основе Ti, Cr, W |
Authors: | Тульев, Валентин Валентинович |
Keywords: | элементный анализ поверхностные структуры ионно-ассистируемое осаждение осаждение покрытий резерфордовское обратное рассеяние бериллий компьютерное моделирование резонансные ядерные реакции ионы гелия |
Issue Date: | 2021 |
Citation: | Тульев, В. В. Элементный анализ поверхностных структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением на сталь 40Х покрытий на основе Ti, Cr, W / В. В. Тульев // Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы Международной конференции, посвященной 100-летию Белорусского государственного университета, г. Минск, 21-24 сентября 2021 г. - Минск : БГУ, 2021. - С. 547-551. - Библиогр.: 10 назв. |
Abstract: | На подложки из стали марки 40Х наносились покрытия на основе Ti, Cr, W методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Для реализации этого метода использовался ионный источник, создающий плазму вакуумного электродугового разряда, в которой одновременно генерируются положительные ионы и нейтральная фракция из материала электродов. Ионно-ассистируемое осаждение осуществлялось при ускоряющих напряжениях 15 кВ, плотности ионного тока ~ 3-5 мкА/см{2} и интегральном потоке ассистирующих ионов (1ּּ-6)∙1016 ион/см{2}. В рабочей камере в процессе осаждения покрытий поддерживался вакуум при давлении ~10{−2} Па. Для дополнительного контроля элементного состава осаждаемого на мишень покрытия использовались образцы-свидетели из бериллия. Элементный состав и распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием, методом резонансных ядерных реакций и методом резонансного упругого рассеяния ионов гелия. Установлено независимыми и взаимодополняющими методами, что в состав покрытий входят атомы осаждаемого металла (10-30 ат. %), атомы железа из подложки (20-30 ат. %), атомы технологических примесей водорода (5-10 ат.%), углерода (5-10 ат.%), кислорода (10-30 ат.%). |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/51185 |
Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Тульев_Элементный анализ.pdf | 377.47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.