Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/53412| Title: | Исследование режимов травления свинцового маскирующего покрытия в производстве силовых диодов |
| Authors: | Ленкевич, К. Д. Богомазова, Наталья Валентиновна |
| Keywords: | селективное травление свинца свинцовое маскирующее покрытие производство силовых диодов силовые диоды травление свинца режимы травления |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Ленкевич, К. Д. Исследование режимов травления свинцового маскирующего покрытия в производстве силовых диодов / К. Д. Ленкевич, Н. В. Богомазова // Импортозамещение, научно-техническая и экономическая безопасность : сборник статей V Международной научно-технической конференции «Минские научные чтения-2022», Минск, 7-9 декабря 2022 г. – Минск: БГТУ, 2022. – Т. 1. – С. 102-107. |
| Abstract: | C использованием полнофакторного эксперимента исследовано влияние температуры, состава и продолжительности обработки на скорость селективного травления свинца в структуре Pb/Ni/Si на этапе разделения кремниевых пластин в производстве силовых диодов. Обоснована возможность увеличения скорости травления на 10%. при уменьшении температуры травления от 50 до 40 ◦С и содержания H[2]O[2] с 50 до 37 масс. %. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/53412 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ленкевич_Исследование.pdf | 474.69 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.