Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/55105| Title: | Воздействие примесей донорно-акцепторных газов к воздуху на проводимость тонких пленок на основе диоксида олова |
| Authors: | Шишкин, Николай Яковлевич Курбачев, О. И. Чеботарь, Оксана Адамовна Черкасов, Вадим Анатольевич Башкиров, Леонид Андреевич Жарский, Иван Михайлович |
| Keywords: | тонкие пленки диоксид олова палладий олово магнетронное распыление электронная просвечивающая микроскопия сканирующая микроскопия электронография рентгенофазовый анализ фотоэлектронная спектроскопия |
| Issue Date: | 1999 |
| Citation: | Воздействие примесей донорно-акцепторных газов к воздуху на проводимость тонких пленок на основе диоксида олова / Н. Я. Шишкин [и др.] // Разработка импортозамещающих технологий и материалов в химической промышленности : материалы международной научно-технической конференции, г. Минск, 20-22 октября 1999 г. - Минск : БГТУ, 1999. - С. 270-274. - Библиогр.: 4 назв. |
| Abstract: | Пленки диоксида олова с палладием высокой гомогенности получались методом магнетронного распыления на постоянном токе (при давлении аргона в рабочей камере от 0.1 до 2 Па) металлических оловянных мишеней, а также мишеней с добавками металлического палладия. Сенсорные пленки оксида олова SnO[2] и их легированные модификации были получены методом термического окисления металлического слоя. Были получены пленки чистого оксида олова, а также оксида олова с содержанием палладия 0,7% ат., 1% ат., 2% ат., 3% ат. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/55105 |
| Appears in Collections: | Публикации в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Шишкин_Воздействие.pdf | 283.75 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.