Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/56330| Title: | Исследования оcобенностей наноразмерных гетероструктур GaN и AlGaN, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на кремниевых подложках с использованием буферного слоя пористого кремния |
| Authors: | Золотухин, Д. С. Леньшин, А. С. Середин, П. В. Мизеров, А. М. |
| Keywords: | гетероструктуры гибридные гетероструктуры пористый кремний наноразмерные гетероструктуры кремниевые подложки гибридные подложки |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Исследования особенностей наноразмерных гетероструктур GaN и AlGaN, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на кремниевых подложках с использованием буферного слоя пористого кремния / Д. С. Золотухин [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2023 : сборник заочных докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 21-23 марта 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. - С. 51-52. |
| Abstract: | В работе исследованы оcобенности наноразмерных гетероструктур GaN и AlGaN, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на кремниевых подложках с использованием буферного слоя пористого кремния. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/56330 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Золотухин_Исследования.pdf | 201.74 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.