Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/56330| Название: | Исследования оcобенностей наноразмерных гетероструктур GaN и AlGaN, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на кремниевых подложках с использованием буферного слоя пористого кремния |
| Авторы: | Золотухин, Д. С. Леньшин, А. С. Середин, П. В. Мизеров, А. М. |
| Ключевые слова: | гетероструктуры гибридные гетероструктуры пористый кремний наноразмерные гетероструктуры кремниевые подложки гибридные подложки |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Исследования особенностей наноразмерных гетероструктур GaN и AlGaN, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на кремниевых подложках с использованием буферного слоя пористого кремния / Д. С. Золотухин [и др.] // Инновационные материалы и технологии - 2023 : сборник заочных докладов Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 21-23 марта 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. - С. 51-52. |
| Краткий осмотр (реферат): | В работе исследованы оcобенности наноразмерных гетероструктур GaN и AlGaN, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на кремниевых подложках с использованием буферного слоя пористого кремния. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/56330 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Золотухин_Исследования.pdf | 201.74 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.