Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/57040| Title: | Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта |
| Authors: | Михалкович, О. М. Барайшук, С. М. Бобрович, Олег Георгиевич |
| Keywords: | сканирующая зондовая микроскопия модификация поверхностных слоев ионно-лучевое распыление титан кобальт кремний гидрофильность поверхности шероховатость поверхности |
| Issue Date: | 2022 |
| Citation: | Михалкович, О. М. Модификация поверхностных слоев кремния и стекла ионно-лучевым распылением титана и кобальта / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук, О. Г. Бобрович // Материалы и структуры современной электроники : материалы X Международной научной конференции, Минск, 12-14 октября 2022 г. - Минск : БГУ, 2022. - С. 147-151. - Библиогр.: 5 назв. |
| Abstract: | Изучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe{+} и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. Показано, что облучения кремния ионами Xe с энергиями в диапазоне 10-40 кэВ и флюенсе 10{14} см{−2} не вызывает изменения морфологии поверхности. С ростом времени осаждения пленок гидрофильность поверхности стекла снижается. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/57040 |
| Appears in Collections: | Публикации в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Михалкович_Модификация.pdf | 2.02 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.