Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/57667| Title: | Газочувствительные слои в составе полупроводниковых сенсоров на алюмооксидных подложках |
| Authors: | Реутская, О. Г. Денисюк, С. В. Куданович, О. Н. Лугин, Валерий Геннадьевич |
| Keywords: | полупроводниковые сенсоры газочувствительные слои алюмооксидные подложки энергосбережение оксид олова оксид индия |
| Issue Date: | 2022 |
| Citation: | Газочувствительные слои в составе полупроводниковых сенсоров на алюмооксидных подложках / О. Г. Реутская [и др.] // Приборостроение-2022 : материалы 15-й международной научно-технической конференции, Минск, 16-18 ноября 2022 г. - Минск : БНТУ, 2022. - С. 441-443. - Библиогр.: 1 назв. |
| Abstract: | Формирование газочувствительных слоев на алюмооксидных подложках обеспечивает воспроизводимость и стабильность характеристик, а также низкое энергопотребление сенсоров. Методики выбора режимов отжига и способа нанесения тонких пленок влияют на адгезионные свойства элементов конструкции. Получение развитых сплошных полупроводниковых слоев достигается многослойным нанесением оксидов металлов с применением капельных технологических приемов. Диапазон термообработки поверхности чувствительных элементов составляет от 100 °С до 800 °С. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/57667 |
| Appears in Collections: | Публикации в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Реутская_Газочувствительные.pdf | 2.1 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.