Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/58992| Title: | Измерение удельного сопротивления поверхностного слоя полупроводникового газоанализатора |
| Authors: | Карпович, Дмитрий Семенович Анкуда, Максим Анатольевич Олиферович, Надежда Михайловна |
| Keywords: | газоанализаторы полупроводниковые газоанализаторы удельное сопротивление измерение удельного сопротивления полупроводниковые сенсоры четырехэлектродный метод измерения |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Карпович, Д. С. Измерение удельного сопротивления поверхностного слоя полупроводникового газоанализатора / Д. С. Карпович, М. А. Анкуда, М. А. Олиферович // Химическая технология и техника : материалы 87-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, Минск, 31 января - 17 февраля 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. – С. 276-278. |
| Abstract: | Большинство методов измерения удельного сопротивления основывается на определении разницы потенциалов рабочего участка образца, который находится под действием электрического тока. Для полупроводниковых приборов часто применяют зондовые методы, которые не требуют подготовки образца. Одним из наиболее эффективных методов является четырехэлектродный метод измерения удельного сопротивления. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/58992 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Карпович_Измерение.pdf | 232.76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.