Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
| dc.date.accessioned | 2023-10-02T08:31:30Z | - |
| dc.date.available | 2023-10-02T08:31:30Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Тульев, В. В. Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 87-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, Минск, 31 января - 17 февраля 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. – С. 198-200. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364 | - |
| dc.description.abstract | На образцы из кремния наносились покрытия на основе Co методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Рассмотрен композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГТУ | ru |
| dc.subject | кремний | ru |
| dc.subject | ионно-ассистируемое осаждение | ru |
| dc.subject | осаждение в вакууме | ru |
| dc.subject | резерфордовское обратное рассеяние | ru |
| dc.subject | метод ядерных реакций | ru |
| dc.title | Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 539.1.06:539.23.234 | - |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Композиционный.pdf | 303.94 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.