1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Научно-технические конференции профессорско-преподавательского состава
  4. 87-я научно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, 31 января - 17 февраля 2023 г.
  5. Информационные технологии. Физика и математика
  6. материалы конференции постатейно
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТульев, Валентин Валентинович-
dc.date.accessioned2023-10-02T08:31:30Z-
dc.date.available2023-10-02T08:31:30Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationТульев, В. В. Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 87-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, Минск, 31 января - 17 февраля 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. – С. 198-200.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/59364-
dc.description.abstractНа образцы из кремния наносились покрытия на основе Co методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Рассмотрен композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.publisherБГТУru
dc.subjectкремнийru
dc.subjectионно-ассистируемое осаждениеru
dc.subjectосаждение в вакуумеru
dc.subjectрезерфордовское обратное рассеяниеru
dc.subjectметод ядерных реакцийru
dc.titleКомпозиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакуумеru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc539.1.06:539.23.234-
Располагается в коллекциях:материалы конференции постатейно

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Тульев_Композиционный.pdf303.94 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.