Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364| Title: | Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме |
| Authors: | Тульев, Валентин Валентинович |
| Keywords: | кремний ионно-ассистируемое осаждение осаждение в вакууме резерфордовское обратное рассеяние метод ядерных реакций |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Тульев, В. В. Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 87-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, Минск, 31 января - 17 февраля 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. – С. 198-200. |
| Abstract: | На образцы из кремния наносились покрытия на основе Co методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Рассмотрен композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Композиционный.pdf | 303.94 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.