Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364
Название: | Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме |
Авторы: | Тульев, Валентин Валентинович |
Ключевые слова: | кремний ионно-ассистируемое осаждение осаждение в вакууме резерфордовское обратное рассеяние метод ядерных реакций |
Дата публикации: | 2023 |
Издательство: | БГТУ |
Библиографическое описание: | Тульев, В. В. Композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 87-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, Минск, 31 января - 17 февраля 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. – С. 198-200. |
Краткий осмотр (реферат): | На образцы из кремния наносились покрытия на основе Co методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Рассмотрен композиционный состав приповерхностных слоев структур Co/Si и Co/(Si+Xe), полученных ионно-ассистируемым осаждением в вакууме. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/59364 |
Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Тульев_Композиционный.pdf | 303.94 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.