Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/64103| Title: | Роль адсорбированного кислорода на электрофизические свойства тонких пленок наноструктурированного оксида индия |
| Authors: | Долгий, В. К. Волобуев, Влас Сергеевич Почтенный, Артем Евгеньевич |
| Keywords: | сенсоры механизм проводимости термодесорбция тонкая пленка адсорбированный кислород наноструктурированный оксид индия |
| Issue Date: | 2023 |
| Citation: | Долгий, В. К. Роль адсорбированного кислорода на электрофизические свойства тонких пленок наноструктурированного оксида индия / В. К. Долгий, В. С. Волобуев, А. Е. Почтенный // Актуальные проблемы физики твердого тела: сборник докладов X Междунар. науч. конф., Минск, 22–26 мая 2023 / НПЦ НАН Беларуси по материаловедению. – Минск : А. Н. Вараксин, 2023. – С. 654-657 |
| Abstract: | Исследованы электрофизические свойства тонких пленок наноструктурированного оксида индия. Структура и химический состав пленок изучались методами электронной дифракции, сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Температурная зависимость проводимости пленок оксида индия измерялась при постоянной концентрации кислорода методом циклической термодесорбции. На основе результатов исследования предложен механизм проводимости. Результаты могут быть использованы в микроэлектронных датчиках |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/64103 |
| Appears in Collections: | Публикации в республиканских изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Долгий.pdf | 1.01 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.