Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/64389
Title: | Особенности формирования легированных слоев на поверхности вентильных металлов в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда |
Authors: | Поплавский, Василий Владимирович Бобрович, Олег Георгиевич Дорожко, Александр Валентинович Матыс, Владимир Генрихович |
Keywords: | алюминиевые сплавы алюминий вентильные металлы защита от коррозии ионно-ассистируемое осаждение коррозионная стойкость легирование поверхности тантал титан осаждение металлов энергодисперсионный анализ |
Issue Date: | 2023 |
Citation: | Особенности формирования легированных слоев на поверхности вентильных металлов в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда / В. В. Поплавский [и др.] // Взаимодействие ионов с поверхностью "ВИП 2023" : труды XXVI Международной конференции, Ярославль, 21-25 августа 2023 г. - Москва : Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 2023. - Т. 1. - С. 314-317. - Библиогр.: 9 назв. - ил. |
Abstract: | При ионно-ассистируемом осаждении металлов из плазмы вакуумного дугового разряда на поверхность вентильных металлов (Al, Ti, Ta) получены многокомпонентные аморфные слои толщиной ~30–50 нм, включающие атомы осажденных металлов, компоненты материала подложки, включая кислород поверхностной оксидной пленки, а также молекулы углеводородов в качестве примесей. Причем значительные количества газов включаются в состав формируемых слоев при осаждении металлов, обладающих геттерными свойствами. Процесс формирования слоев отличается одностадийностью, экономичностью и позволяет повышать коррозионную устойчивость и обеспечивать каталитическую активность материалов. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/64389 |
Appears in Collections: | Статьи в зарубежных изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Поплавский_Особенности.pdf | 1.82 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.