Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64389
Title: Особенности формирования легированных слоев на поверхности вентильных металлов в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда
Authors: Поплавский, Василий Владимирович
Бобрович, Олег Георгиевич
Дорожко, Александр Валентинович
Матыс, Владимир Генрихович
Keywords: алюминиевые сплавы
алюминий
вентильные металлы
защита от коррозии
ионно-ассистируемое осаждение
коррозионная стойкость
легирование поверхности
тантал
титан
осаждение металлов
энергодисперсионный анализ
Issue Date: 2023
Citation: Особенности формирования легированных слоев на поверхности вентильных металлов в процессе ионно-ассистируемого осаждения металлов из плазмы вакуумного дугового разряда / В. В. Поплавский [и др.] // Взаимодействие ионов с поверхностью "ВИП 2023" : труды XXVI Международной конференции, Ярославль, 21-25 августа 2023 г. - Москва : Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 2023. - Т. 1. - С. 314-317. - Библиогр.: 9 назв. - ил.
Abstract: При ионно-ассистируемом осаждении металлов из плазмы вакуумного дугового разряда на поверхность вентильных металлов (Al, Ti, Ta) получены многокомпонентные аморфные слои толщиной ~30–50 нм, включающие атомы осажденных металлов, компоненты материала подложки, включая кислород поверхностной оксидной пленки, а также молекулы углеводородов в качестве примесей. Причем значительные количества газов включаются в состав формируемых слоев при осаждении металлов, обладающих геттерными свойствами. Процесс формирования слоев отличается одностадийностью, экономичностью и позволяет повышать коррозионную устойчивость и обеспечивать каталитическую активность материалов.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64389
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Поплавский_Особенности.pdf1.82 MBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.